自动显微薄膜厚度测量仪

ZK-SM280是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的显微薄膜厚度测绘仪。它利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，ZK-SM280就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度，其厚度最大测绘范围可以达到10nm~100um，ZK-SM280配备专用显微镜系统，最小可支持10um大小的微小样品测试，软件具备模板匹配和自动对焦功能，并支持测量点位路径绘制及支持以2D/3D方式呈现测量结果。
ZK-SM280自动显微薄膜厚度测绘仪采用一体化设计，核心器件采用高分辨率、高灵敏度光谱仪、高性能工业CCD和高精度的3轴移动平台，结合中科正奇独有的算法技术，为用户提供的全新一代领先的自动显微薄膜厚度测绘仪。

l 最大波段范围：200nm~1000nm、400nm~1000nm或900nm~1400nm；
l 非接触式、非波坏行的系统检测系统；
l 超长寿命光源，高效的发光效率；
l 高分辨率、高灵敏度光谱仪，测量结果更准确可靠
l 软件界面直观，操作方便高效；
l 配备吸纳为物镜，支持检测小尺寸样品；
l 测绘速度快，支持多点测绘点位地图绘制；
l 支持绘制2D/3D厚度分布图；
l 高精度、长寿命的3轴旋转平台；
l 历史数据存储功能，处理数据更加方便快捷；
l 桌面式设计，使用场景丰富
维护成本低，保养方便。

		ZK-SM280UV	ZK-SM280	ZK-SM280-EXR
光学参数
光谱范围		200~1000 nm	400~1000nm	900~1400nm
光源		氘卤组合灯	钨卤素灯
厚度测量范围	5X物镜	/	20nm~40um	20nm~100um
	10X物镜	/	20nm~30um	20nm~70um
	20X物镜	10nm~30um	20nm~40um	20nm~80um
	50X物镜		20nm~1um	20nm~2um
准确度		±2nm或0.2%
入射角		90°
膜厚层数		1~3层
样品材料		透明或半透薄膜
测量模式		单点测试/多点测试/自动测试
光    斑    尺    寸	物镜	标准500um孔径
	5X物镜	100um
	10X物镜	50um
	20X物镜	30um
	50X物镜	10um
样品尺寸		直径从警1mm~30mm，或更大
电气参数
操作系统		Windows10/11
指示灯		氘灯指示、卤灯指示	卤灯指示
按钮		电源按钮、氘灯、卤灯	电源按钮、卤灯开关
外部接口		电源插座、USB2.0、光纤输入口、光纤输出口
扫描平台		旋转+X轴移动+Z轴移动
可移动行程		150mm*360°
材质		铝合金
供电电源		DC 24V
存储温度		~20°C ～ +65°C
操作温度		0 ～ 45 oC
工作湿度		< 90%RH
物理参数
尺寸		520×450×400 mm
重量		28kg